SJ/T 11583-2016 电子陶瓷及其封接气密性测试方法

标准编号：SJ/T 11583-2016

中文名称：电子陶瓷及其封接气密性测试方法

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

曹培福、高陇桥、曹建平 等

起草单位

湖南省新化县鑫星电子陶瓷有限责任公司、中国电子材料行业协会真空电子与专用金属材料分会、国家电子陶瓷质量监督检验中心

标准范围

本标准规定了电子陶材料、已金属化的待封接电子陶瓷或已封接的电真空陶管制品的封接气密性测试原理、测试装置以及测试步骤等内容。 本标准适用于电子陶瓷材料，如95瓷、93瓷等以及已金属化的电子陶或已封接的电真空陶瓷管制品室温下封接气密性的测试。

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