SJ/T 10479-2016 自动砂轮划片机

标准编号：SJ/T 10479-2016

代替以下标准：SJ/T 10479-1994

中文名称：自动砂轮划片机

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

张仕卿、曾艳丽、刘光恒 等

起草单位

沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、晶能光电（江西）有限公司等

标准范围

本标准规定了自动砂轮划片机（划片过程自动化，以下简称“划片机”）的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。

本标准适用于切割分离硅片的划片机，产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、铌酸锂、砷化镓和磁钢等脆硬材料。

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