SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

标准编号：SJ/T 11554-2015

中文名称：用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

发布日期：2015-10-10

实施日期：2016-04-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

刘兵、钱森林、王洪华 等

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

标准范围

本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用氢氟酸中痕量金属元素钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

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