SJ/T 11860-2022 电镀溶液试验方法

标准编号：SJ/T 11860-2022

中文名称：电镀溶液试验方法

英文名称：Test methods for plating solution composition

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

曹可慰、吴怡然、李小娟、管琪、付雪涛、王振荣

起草单位

中国电子技术标准化研究所、上海新阳半导体材料股份有限公司

标准范围

本文件规定了电镀溶液分析方法的一般要求，各种金属电镀溶液成分分析方法。

本文件适用于电镀溶液的检验。

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