SJ/T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南

标准编号：SJ/T 11495-2015

中文名称：硅中间隙氧的转换因子指南

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

李静、何秀坤、刘兵 等

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

标准范围

本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。 标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间氧含量。

首页预览图