SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

标准编号：SJ/T 11552-2015

中文名称：以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

发布日期：2015-10-10

实施日期：2016-04-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

李静、何秀坤、刘兵 等

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

标准范围

本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。

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