SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范

标准编号：SJ/T 11185-1998

代替以下标准：SJ 1224－1977

中文名称：蒸发镀膜设备通用规范

发布日期：1998-03-11

实施日期：1998-05-01

技术归口：

批准发布部门：电子工业部

标准范围

本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。