SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备

标准编号：SJ/T 11829.1-2022

中文名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备

英文名称：Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for crystalline silicon photovoltaic cells-Part 1: Tubular PECVD equipment

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

提出单位：全国半导体没备和材料标推化技术委员会

技术归口：全国半导体没备和材料标推化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

吴得铁、田湘龙、龙会跃、成秋云、李晔纯、范迎新、肖友文、冯亚彬

湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“管式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。

本文件适用于晶体硅光伏电池用管式PECVD设备膜，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。