SJ/T 11854-2022 光伏用直拉单晶炉

标准编号：SJ/T 11854-2022

中文名称：光伏用直拉单晶炉

英文名称：Czochalski single-crystal silicon growing furnaces used for PV

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

提出单位：工业和信息化部

技术归口：工业和信息化部

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

曹建伟、朱亮、傅林坚、张俊、郑丽霞、叶钢飞、张树峰、郑海峰、曹可慰、吴怡然、李其聪

浙江晶盛机电股份有限公司、浙江晶鸿精密机械制造有限公司、浙江求是半导体设备有限公司、内蒙古中环光伏材料有限公司、内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司、中国电子技术标准化研究院

本文件规定了光伏用直拉单晶炉（以下简称单晶炉）的术语定义、规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。

本文件适用于采用软轴直法拉进行太阳能级8英寸和12英寸单晶硅生长的单晶炉。