SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

标准编号：SJ/T 11763-2020

中文名称：半导体制造设备人机界面规范

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

标准范围

适用于半导体制造设备

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