SJ/T 11496-2015 红外吸收法测量砷化镓中硼含量

标准编号：SJ/T 11496-2015

中文名称：红外吸收法测量砷化镓中硼含量

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

李静、何秀坤、刘兵 等

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

标准范围

本标准规定了在77K时，用红外吸收法来测定砷化镓(GaAs)中替位硼含量的方法。 本标准适用于电阻率大于10∧6Ω·cm的半绝缘砷化镓单晶中替位硼含量的测试，测量硼含量的有效范围是从1×10∧16at·cm-3到2×10∧18at·cm-3。

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