SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

标准编号：SJ/T 10274-1991

中文名称：掩模对准曝光机测试方法

发布日期：1991-11-12

实施日期：1992-01-01

技术归口：

批准发布部门：电子工业部

标准范围

本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。

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