SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法

标准编号：SJ/T 11638-2016

中文名称：电子化学品中颗粒的测试方法

发布日期：2016-10-22

实施日期：2017-01-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

尹云航、陈玉英、裴会川 等

起草单位

杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。

本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1μm～1.0μm可选。测定的电子化学品的颖粒浓度为(0-10000)每毫升/个，其他粒径的可参考执行。

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