SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

标准编号：SJ/T 31083-2016

代替以下标准：SJ/T 31083-1994

中文名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

技术归口：中国电子技术标准化研究院

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

彭海涛、杨红伟、家秀云 等

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

标准范围

本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。

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