SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范

标准编号：SJ/T 11451-2013

中文名称：扩散炉能源消耗规范

发布日期：2013-10-17

实施日期：2013-12-01

技术归口：中国电子技术标准化研究所

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

李补忠、盛金龙 等

起草单位

北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心

标准范围

本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。

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