SJ/T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

标准编号：SJ/T 11487-2015

中文名称：半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

何秀坤、董彦辉、刘兵 等

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

标准范围

本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。 本标准适用于半绝缘砷化镓、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量，电阻率的测量范围为10^5 Ω·cm～10^12Ω·cm。

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