SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

标准编号：SJ/T 11637-2016

中文名称：电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

发布日期：2016-10-22

实施日期：2017-01-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

尹云航、陈玉英、周利超 等

起草单位

杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本标准规定了用电感耦合等离子体质谱法测定电子化学品中金属离子的测定方法。

本标准适用于电子化学品中多种金属元素的测定。

本标准适用于痕量测定，推荐直接进样检测的浓度小于1000μg/kg。本标准不适用于固体直接进样。

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