SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

标准编号：SJ/T 11507-2015

中文名称：集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

戈士勇、何珂、王周霞等

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。