SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

标准编号：SJ/T 11576-2016

中文名称：喷雾式涂覆设备通用规范

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

贺立波、徐春旭、汪明波 等

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本规范规定了喷雾式涂设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。 本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。

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