SJ/T 11707-2018 硅通孔几何测量术语

标准编号：SJ/T 11707-2018

中文名称：硅通孔几何测量术语

发布日期：2018-02-09

实施日期：2018-04-01

技术归口：全国半导体器件标准化技术委员会集成电路分技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

侯芳、郁元卫、吴昊 等

起草单位

中国电子科技集团公司第五十五研究所、天水华天科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十八研究所

标准范围

本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。

本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。

 玻璃通孔尺寸的几何测量也可以参考本标准。

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