SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

标准编号：SJ/T 10584-1994

中文名称：微电子学光掩蔽技术术语

发布日期：1994-08-08

实施日期：1994-12-01

技术归口：

批准发布部门：电子工业部

标准范围

本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。

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