SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

标准编号：SJ/T 11504-2015

中文名称：碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

丁丽、周智慧、蔺娴 等

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本标准规定了碳化硅单晶抛光片（以下简称“抛光片”）表面质量的目视检验方法。 本标准适用于单面或者双面抛光的碳化硅单晶抛光片表面质量的检测。

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