SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

标准编号：SJ/T 11516-2015

中文名称：薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

万承华、张沛、熊启龙 等

起草单位

深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本标准规定了薄膜晶体管（TFT）用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。

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