SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

标准编号：SJ/T 11494-2015

中文名称：硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

李静、何秀坤、刘兵 等

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

标准范围

本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。 本标准适用于低位错密度（＜500个／cm2 ）硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定，同时也适用于检测硅单晶中含量为1×10∧11at·cm-3～5×10∧15at·cm-3的各种电活性杂质。

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