SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件

标准编号：SJ/T 10311-1992

中文名称：低压化学气相淀积设备通用技术条件

发布日期：1992-06-15

实施日期：1992-12-01

技术归口：

批准发布部门：电子工业部

标准范围

本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。

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