SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法

标准编号：SJ/T 11500-2015

中文名称：碳化硅单晶晶向的测试方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

丁丽、郝建民、周智慧 等

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本标准规定了利用X射线衍射定向法测定碳化硅单晶晶向的方法。 本标准适用于晶型为6H和4H的碳化硅单晶的晶向测定。

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