GB/T 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃

标准编号：GB/T 45826-2025

中文名称：光刻用掺钛石英玻璃

英文名称：Titania doped silica glass for lithography

发布日期：2025-05-30

实施日期：2025-12-01

提出单位：中国建筑材料联合会

归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

批准发布部门：中国建筑材料联合会

起草人

张寒、聂兰舰、谢常青、张海涛、邵竹锋、王慧、王京侠、李佩悦、刘振禹、毛露路、王世凯、裴广庆、黄婷、秦卫光、黄芸、卢卫民、郑宇辰、李弋舟、刘俊龙、夏郭俊、沈一春、钱宜刚、刘焕敏、刘亚茹、于浩、陈卫东、云仕东、莫大洪、曹欣、崔剑秋、韩甫、金晓荣、蔡晓峰、司继伟、王亮亮、胡会容

起草单位

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、中国科学院微电子研究所、中建材玻璃新材料研究院集团有限公司、成都光明光电有限责任公司、南通晶体有限公司、中国科学院光电技术研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、上海菲利华石创科技有限公司、上海传芯半导体有限公司、长沙韶光芯材科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、成都光明光电股份有限公司、威海长和光导科技有限公司、中国计量科学研究院、久智光电子材料科技有限公司、济南光微半导体科技有限公司、神光光学集团有限公司、成都路维光电有限公司、国检测试控股集团重庆检测有限公司

标准范围

本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃（以下简称掺钛石英玻璃）的要求、检验规则以及标志、包装、运输和贮存，描述了相应的试验方法。

本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产、检验、交付和验收。

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