GB/T 45459-2025 微束分析 聚焦离子束 透射电镜试样制备方法

标准编号：GB/T 45459-2025

中文名称：微束分析 聚焦离子束 透射电镜试样制备方法

英文名称：Microbeam analysis—Focused ion beam—Preparation of TEM specimens

发布日期：2025-03-28

实施日期：2025-10-01

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

乔祎、徐宗伟、王英、王荣明、朱玉辰、邓昱、孟杨、邹永纯、尤力

起草单位

北京科技大学、南京大学、上海交通大学、天津大学、首钢集团有限公司、哈尔滨工业大学

标准范围

本文件规定了聚焦离子束法制备透射电镜试样的仪器设备、环境与样品要求、试样制备和试验记录。

本文件适用于金属材料，半导体、矿物等无机非金属材料及高分子材料等固态材料的透射电镜试样制备。

本文件适用于各种类型的聚焦离子束场发射扫描电镜双束系统，单束系统和多束系统参照执行。

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