GB/T 44538-2024 碳基薄膜椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

标准编号：GB/T 44538-2024

中文名称：碳基薄膜椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

英文名称：Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry

发布日期：2024-09-29

实施日期：2025-04-01

提出单位：中国机械工业联合会

归口单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会

批准发布部门：中国机械工业联合会

起草人

段海涛、贾丹、沈学忠、高明、王彦峰、王流火、骆小双、尤锦鸿、曹一莹、张心凤、詹胜鹏、凃杰松、杨田、陈辉、易娟、苏东艺

中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、广东电网有限责任公司、纳狮新材料有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广州今泰科技股份有限公司

本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。

本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。

本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。