T/SDAMA 010-2025 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

标准编号：T/SDAMA 010-2025

中文名称：碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

英文名称：High purity silicon carbide powder for Silicon carbide ceramic wafer boat

发布日期：2025-05-30

实施日期：2025-05-30

团体名称：山东省新材料产业协会

起草人

高惠、周强、郝文虎、王明峰、王东、毕见强、周健华、马运志、赵雷、石金旺、祁丰才、石威、龚红宇、王伟礼、孙国勋

山东圣诺实业有限公司、山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东依莱特硅业有限公司、潍坊新方精细微粉有限公司、山东省新材料产业协会

本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。