T/CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

标准编号：T/CCSAS 052-2025

中文名称：三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

英文名称：Safety technical specifications for polysilicon production by trichlorosilane reduction method

发布日期：2025-03-03

实施日期：2025-03-03

团体名称：中国化学品安全协会

起草人

李斌、兰云、杨武明、罗周、王世棋、郑东昊、程长进、韩洪流、王路、李超、朱文刚、刘继三、贾敏、程渝峰、严大洲、陈宏愿

中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都有限公司、华陆工程科技有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川晨光工程设计院有限公司

本文件界定了采用三氯氢硅（TCS）还原法生产多晶硅的术语和定义，规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求，包括设计与总图布局中的安全要求.生产过程的安全要求。

本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的企业可参照执行。