T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

标准编号：T/WHQASA 12-2024

中文名称：10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

英文名称：lower heating susceptor products of 10.5G chemical vapor deposition equipment

发布日期：2024-12-30

实施日期：2024-12-30

团体名称：芜湖市质量与标准化协会

起草人

司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽

芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司

本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。

本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。