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YS/T 1129-2016 钨钛合金靶材

有色金属行业标准(YS)

标准编号:YS/T 1129-2016

中文名称:钨钛合金靶材

发布日期:2016-07-11

实施日期:2017-01-01

技术归口:

批准发布部门:工业和信息化部

标准范围

本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)等内容。

本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用靶坯。

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