YS/T 1654-2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

标准编号：YS/T 1654-2023

中文名称：氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

英文名称：Methods for chemical analysis of high purity gallium nitride-Determination of trace impurity elements contents-Glow discharge mass spectrometry

发布日期：2023-12-20

实施日期：2024-07-01

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、刘丽媛、赵景鑫、孙道儒、朱赞芳、谭秀珍、李俊需、李铭、马媛

起草单位

国标（北京）检验认证有限公司、国合通用测试评价认证股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司

标准范围

本文件规定了氮化镓中杂质元素含量的测定方法。

本文件适用于氮化镓中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。

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