YS/T 1069-2015 金铍蒸发料

标准编号：YS/T 1069-2015

中文名称：金铍蒸发料

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

谢宏潮、阳岸恒、向磊等

起草单位

贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院

标准范围

本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。

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