YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

标准编号：YS/T 1053-2015

中文名称：电子薄膜用高纯钴靶材

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

王学泽、李勇军、郑文翔等

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司

标准范围

本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。

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