YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

标准编号：YS/T 26-2016

代替以下标准：YS/T 26-1992

中文名称：硅片边缘轮廓检验方法

发布日期：2016-07-11

实施日期：2017-01-01

技术归口：

批准发布部门：工业和信息化部

标准范围

本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。

本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

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