YS/T 954-2014 金砷蒸发料
标准编号:YS/T 954-2014
中文名称:金砷蒸发料
发布日期:2014-10-14
实施日期:2015-04-01
技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
陈彪、向磊 等
起草单位
北京达博有色金属焊料有限责任公司、有色金属技术经济研究院
标准范围
本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。
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