YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号：YS/T 1601-2023

中文名称：六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Determination of impurity content in hexachlorodisilane- Inductively coupled plasma mass spectrometry

发布日期：2023-04-21

实施日期：2023-11-01

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

严大洲、万烨、赵雄、曹俊英、徐家扬、刘凤华、刘允许、邱艳梅、刘国霞、魏东亮、王彬、甘居富、李寿琴、于生海

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

标准范围

本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。

本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g~50ng/g。

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