XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

标准编号：XB/T 515-2020

中文名称：钪铝合金靶材

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

技术归口：

批准发布部门：工业和信息化部

标准范围

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。

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