YS/T 985-2014 硅抛光回收片

标准编号：YS/T 985-2014

中文名称：硅抛光回收片

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

何良恩、刘丹 等

起草单位

浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半导体材料股份有限公司等

标准范围

本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。

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