JJF 1967-2022 激光衍射法反射光栅校准规范

标准编号：JJF 1967-2022

中文名称：激光衍射法反射光栅校准规范

英文名称：Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction

发布日期：2022-04-29

实施日期：2022-10-29

归口单位：全国新材料与纳米计量技术委员会

起草人

殷聪（中国计量科学研究院）、石春英（中国计量科学研究院）、王建波（中国计量科学研究院）、程鑫彬（同济大学）、邓晓（同济大学）

起草单位

中国计量科学研究院、同济大学

标准范围

本规范适用于平均间距为（140~2000）nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。

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