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DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

上海市地方标准(DB31)

标准编号:DB31/ 506-2020

代替以下标准:DB31/ 506-2010

中文名称:集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

发布日期:2020-09-25

实施日期:2020-12-01

批准发布部门:上海市市场监督管理局

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