YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

标准编号：YS/T 1124-2016

中文名称：磁性溅射靶材透磁率测试方法

发布日期：2016-07-11

实施日期：2017-01-01

技术归口：

批准发布部门：工业和信息化部

标准范围

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

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