GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

标准编号：GB/T 4061-2009

代替以下标准：GB/T 4061-1983

中文名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草人

袁金满

洛阳中硅高科技有限公司

u3000u3000本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。 u3000u3000本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。