GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

标准编号：GB/T 18867-2014

代替以下标准：GB/T 18867-2002

中文名称：电子工业用气体六氟化硫

英文名称：Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride

发布日期：2014-12-22

实施日期：2015-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草人

黄晓磊、牛学坤、刘长庆、任清贵、赖明贵、傅涛

黎明化工研究设计院有限责任公司、青海信禾高精化工有限公司、四川众力氟业有限责任公司、大连大特气体有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司

本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。