SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法

标准规范电子行业标准(SJ)

标准编号：SJ/T 10481-1994

中文名称：硅外延层电阻率的面接触三探针方法

发布日期：1994-04-11

实施日期：1994-10-01

批准发布部门：电子工业部

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